高精度陶瓷组件可改善半导体晶圆加工的良率管理。Innovacera 陶瓷组件可提供精确的尺寸稳定性、超平整度和光滑度，以及在检查和加工过程中对晶圆进行真空固定。低表面接触配置可最大限度地降低背面颗粒对精密应用的晶圆几何形状产生负面影响的风险。
高精度陶瓷零件的主要特点：
1.耐磨性：氧化铝是一种坚韧的技术陶瓷，具有非常好的耐磨性。
2. 尺寸精度高，公差小，更容易获得完美的配合关系。
3. 化学惰性，耐大多数强酸强碱。
4. 耐高温：在氧化和还原气氛中可承受高达 1600°C 的高温。
5. 机械性能好，硬度、抗压强度和抗弯强度远高于不锈钢。
6. 电绝缘：绝缘击穿电压至少为 20KV。
7. 高温下的保护气氛或高真空可消除污染或杂质。
8. 高温下耐化学腐蚀，即使面对强酸或强碱也一样。
9. 与其他技术陶瓷相比，高级应用中的材料成本较低。
陶瓷-金属真空馈通在保持陶瓷与金属组件之间可靠气密结合的同时，将电气引线穿过腔体壁。在半导体、薄膜沉积及真空镀膜设备中，即使是微小的泄漏也会破坏真空完整性、导致批次污染，并引发计划外的生产线停机。 一个常见的工程难题是：馈通往往在制造完成后…
在更换颗粒炉点火器时，常常会遇到这样的情况：新零件在电压、功率和外形尺寸上与旧零件高度吻合，但安装后的点火速度仍可能发生变化。 对于正在开发新款颗粒烤炉的制造商而言，同样需要重点关注点火器与燃烧室及气流设计之间的协同配合。 选择陶瓷点火器，…
在粉末冶金领域，对于涉及高温、熔融金属、严重腐蚀、粉末污染控制以及高精度结构件生产等关键应用，陶瓷往往比金属、石墨或传统耐火材料更为适用。 粉末冶金生产链包括： 金属熔炼 → 雾化 → 粉末处理 → 压制/成形 → 脱脂/烧结 → 热处理 …
