陶瓷导轨表面经过精密研磨和抛光，为气浮轴承滑台提供平面、稳定且耐磨的运动参考。根据产品尺寸、基准定义、支撑方式及检验条件，关键导轨表面的平面度、平行度和垂直度可达到微米级精度。该产品适用于需要高运动直线度、可重复定位及长期测量稳定性的精密设备。
产品特性：
高刚性、轻量化设计
微米级导轨表面精度
优秀的长期尺寸稳定性
专为气浮轴承运动系统设计
空心单、双及多腔结构
复杂结构定制
规格：
| 型号 | 尺寸 W×H×L (mm) | 平面度 | 平行度 | 垂直度 | 约重 |
|---|---|---|---|---|---|
| INV0201211-B | 200×120×1100 | 3 μm | 3 μm | 3 μm | 39 kg |
| INV0201215-B | 200×120×1550 | 3 μm | 3 μm | 3 μm | 56 kg |
| INV2161013-B | 165×100×1300 | 3 μm | 3 μm | 3 μm | 45 kg |
| INV3221015-B | 220×100×1500 | 3 μm | 3 μm | 3 μm | 55 kg |
| INV3371220-B | 375×120×2000 | 3 μm | 3 μm | 3 μm | 150 kg |
应用：
桥式三坐标测量仪
用作三坐标测量仪桥式横梁或气浮轴承导轨结构，为X轴滑台和陶瓷Z轴组件提供高刚性、高精度运动参考。
超精密测量设备
适用于轮廓测量、表面形貌检测、光学元件测量及高精度坐标定位系统。
半导体检测设备
适用于晶圆检测、封装检测、精密对准及高洁净度气浮轴承运动平台。
精密光学与激光设备
适用于激光干涉仪平台、光学检测设备及高稳定性精密扫描机构。
精密定位与自动化设备
适用于高速电子装配、精密运动平台及低摩擦、高重复性要求的自动化系统。
陶瓷横梁与陶瓷Z轴的集成
在桥式三坐标测量仪中，陶瓷横梁与陶瓷Z轴执行不同功能：
- 陶瓷横梁为横向滑台提供运动导向和结构支撑；
- 陶瓷Z轴安装在横梁滑台上执行垂直测量运动；
- 气浮轴承安装在滑台或桥架组件中，与精密陶瓷导轨表面形成非接触气膜。
两种陶瓷部件可配合使用，构建轻量化、高刚性及高稳定性的三坐标测量仪运动结构。
联系咨询三坐标测量仪陶瓷横梁的定制制造及技术支持。
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常见问题
为何选择氧化铝陶瓷横梁用于桥式三坐标测量仪？多腔结构设计如何减少动态变形？
氧化铝陶瓷相比传统花岗岩或铸铁具有更高的比刚度（刚度/重量比）、更低的热膨胀系数及优异的振动阻尼性能。采用空心单腔、双腔或多腔设计，横梁显著降低运动质量，有效减小高速扫描过程中的惯性下垂和动态弯曲。经精密研磨的导轨表面达到微米级精度（平面度/平行度 ≤ 3 μm，长度2,000 mm以内），确保气浮轴承滑台实现无摩擦、高重复性的运动。
