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半导体陶瓷

  • 精密陶瓷在前端半导体中的应用 Company

    半导体设备需要大量精密陶瓷零部件。由于其具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等优点,可作为硅片抛光机、外延/氧化/扩散热处理设备、光刻机、沉积设备、半导体刻蚀设备、离子注入机等的零部件。半导体陶瓷有氧化铝、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氮化硼等,在半导体设备中,精密陶瓷的价值约占16%。 1.氧化铝(Al2O3) 氧化铝(Al2O3)是半导体设备中使用最广泛的陶瓷材料。它具有材料结构稳定、机械强度高、硬度高、熔点高、耐腐蚀、化学稳定性好、电阻率高、电绝缘性好等优点。在半导…

  • 四种半导体陶瓷的种类及特点 Company

    半导体陶瓷是指具有半导体性质的陶瓷,其电导率约为10-6~105/m。半导体陶瓷的电导率会因外界条件(温度、光、电场、气体和温度等)的变化而发生显著变化,因此可将外界环境物理量的变化转换成电信号,制成各种用途的敏感元件。 [caption id="attachment_26796" align="alignnone" width="750"] Semiconductor-99.7-Alumina-Ceramic-Wafer-Robotic-Arm[/caption] 1.热敏陶瓷:又…

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