真空规阳极组件

在真空镀膜、半导体设备、真空炉以及科研仪器等系统中，真空计常用于监测设备内部的气压状态。对于部分冷阴极真空计而言，阳极组件是其内部重要的功能部件之一，其结构精度、绝缘性能以及各部件之间的连接质量，都会直接影响组件运行的稳定性。与普通金属电极不同，真空计阳极组件通常需要同时满足高压导电、电气绝缘、精确定位、真空环境适应性以及可靠连接等多项要求。因此，氧化铝陶瓷与金属部件的结合已成为此类组件常用的结构…