什么是先进陶瓷？ “ceramics”（陶瓷）一词源于希腊语“keramos”，意为“烧制粘土”。 该术语最初几乎专指瓷器。然而，如今我们通常将耐火材料、玻璃和水泥等非金属无机物质称为“陶瓷”。因此，陶瓷现在被认为是“通过模塑或成型工艺并经高温处理而制成的非金属无机物质”。 陶瓷、瓷器用于电子和其他高科技行业，因此必须满足高精度的规格和严苛的性能要求。如今，它们被称为先进陶瓷（也称为“技术陶瓷”）*，以区别于由粘土和硅石等天然材料制成的传统陶瓷。先进陶瓷是经过精心设计的材料，其…

氧化铝陶瓷零件用于光刻机的旋转部件，处于真空状态，对加工精度要求极高，要求内圆跳动在2微米以内。 精细陶瓷已成为半导体设备的关键零部件。特别是在高端光刻机上，为了达到较高的工艺精度，需要广泛使用功能复合性好、结构稳定性、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。 [caption id="attachment_26088" align="alignnone" width="381"] 光刻机用氧化铝陶瓷零…