氧化铝陶瓷零件用于光刻机的旋转部件，处于真空状态，对加工精度要求极高，要求内圆跳动在2微米以内。
精细陶瓷已成为半导体设备的关键零部件。特别是在高端光刻机上，为了达到较高的工艺精度，需要广泛使用功能复合性好、结构稳定性、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。
光刻机用氧化铝陶瓷零件机器
半导体行业使用的另一种高精度陶瓷零件 精密陶瓷已成为半导体设备的关键部件，包括单晶炉、离子注入设备、光刻机、CVD/PVD设备以及封装和测试设备。
Innovacera 可以提供所需的材料，包括氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、氮化硅陶瓷、氮化硼//热解氮化硼陶瓷、碳化硅和微孔陶瓷。
半导体工业中使用的精细陶瓷
什么是先进陶瓷？ “ceramics”（陶瓷）一词源于希腊语“keramos”，意为“烧制粘土”。 该术语最初几乎专指瓷器。然而，如今我们通常将耐火材料、玻璃和水泥等非金属无机物质称为“陶瓷”。因此，陶瓷现在被认为是“通过模塑或成型工艺并经…
美国材料与试验协会 (ASTM) 将陶瓷定义为“一种具有晶体或部分晶体结构，或玻璃质的釉质或无釉质制品，该物质主要由无机非金属物质制成，要么由熔融物冷却凝固而成，要么在加热的同时或之后成型并熟化。” “陶瓷”一词源于希腊语 κεραμικό…
Innovacera（英诺华）为工业、液晶和半导体制造设备提供全球最大的氧化铝陶瓷部件，帮助制造商在当今应用中实现更高的精度。 氧化铝陶瓷特性 高硬度 耐磨 电气绝缘 耐化学腐蚀 公差小 耐高温 食品级 我们提供的氧化物陶瓷材料包括：92%…
