BN

什么是氮化硼？六方氮化硼 (h-BN) 陶瓷具有与石墨相似的微观结构。它通过在高达 2000°C 的高温和高压下热压氮化硼粉末制成。最大毛坯尺寸为 500 × 500 × 200 毫米，并且可以进一步加工成复杂的形状。为什么氮化硼陶瓷可以用于离子注入机？离子注入是半导体制造中的一个关键工艺，在该工艺中，晶圆会被掺杂外来原子，以改变材料的导电性和晶体结构等特性。 大电流引出电极是离子注入系统的核心。…

氮化硼具有高介电强度和高化学惰性，非常适合用于在严苛高温环境下（例如 PVD、CVD 和等离子工艺）的各种屏蔽和绝缘部件。氮化硼部件，例如绝缘导轨、保护管、靶框、屏蔽罩和衬垫，可确保 PVD ​​电弧始终朝向靶材，从而防止设备损坏。在这些应用中，氮化硼通常用作热解氮化硼的替代品。

六方氮化硼 (HBN) 也称为“白色石墨”，具有与石墨类似的（六方）晶体结构。这种晶体结构具有出色的润滑性能。它具有高导热性和良好的抗热冲击性，并且可以轻松加工成几乎任何形状的紧密公差。加工后，无需额外的热处理或烧制操作即可使用。HBN 远优于石墨，具有以下特点：由于摩擦系数低（0.15 至 0.70），因此具有出色的润滑性能良好的化学惰性电绝缘体热导体（结果：更好的散热效果）高温稳定性，空气中为…

高温炉设计包含由碳、钨或钼制成的加热元件。当高温炉的工作温度明显高于1500°C时，元件使用氧化铝陶瓷与炉侧电绝缘。 随着技术的发展，越来越多的公司需要生产周期更短、加热和冷却速度更快的高温电炉。这些氧化物陶瓷绝缘部件容易因高压而导致组件故障，从而增加炉子的停机时间。 与传统氧化铝材料相比，由六方氮化硼（BN）制成的陶瓷组件的工作寿命要长得多。对于极高温度和真空或惰性条件下的热工艺，氮化硼陶瓷通常…

氮化硼通常被称为“白色石墨”，因为它具有与石墨相似的层状结构。它们具有出色的耐高温性能，包括高介电强度、热导率和出色的化学惰性，可以解决一些最苛刻的应用领域的挑战。 氮化硼陶瓷 (BN) 在等离子环境中具有独特的抗溅射性能，即使在强电磁场存在的情况下也不易产生二次离子。抗溅射性能有助于延长组件寿命，而低二次离子产生有助于保持等离子环境的完整性。因此，氮化硼陶瓷 (BN) 被广泛用于将溅射室中的等离…

谈到沉积技术，我们必须提到物理气相沉积 (PVD)、原子层沉积 ( ALD) 和化学气相沉积 ( CVD)，这些技术对于制造半导体、电子、航空航天工业等的高精度部件至关重要。氮化硼 (BN) 陶瓷的多功能性和特性使其成为 PVD、ALD 和 CVD 系统中的关键组件。在这里我想谈谈 BN 陶瓷在这些系统中的作用。 氮化硼陶瓷由排列成晶格结构的硼和氮原子组成。它们可以以六方晶格（HBN）的形式存在…

热压六方氮化硼通常被称为“白色石墨”，因为它具有与石墨相似的层状结构。它具有出色的热特性：高导热性和出色的抗热震性。它在还原气氛中高达 2000°C 时稳定，在氧化气氛中高达 900°C 时稳定。它具有高度可加工、低热膨胀、微波透明性和对熔融金属、炉渣和玻璃的高抗湿性等特点。氮化硼陶瓷零件广泛用作 PVD、MOCVD、MBE 系统、炉组件、熔炼坩埚、绝缘体、垫圈、喷嘴、微波管、散热器和热辐射屏蔽。…

氮化硼陶瓷坩埚的工作温度在真空下为1900℃，在大气保护下为2100℃。氮气或氩气气氛最好，使用寿命最长。氮化硼坩埚抗热震性强，1500℃快冷不开裂，1000℃炉内保温20分钟，取出吹气快冷，连续数百次不开裂。注意事项：1.在空气中使用温度不宜超过900℃，超过900℃氮化硼与氧气表面会氧化剥落。2. 氮化硼 易吸潮，坩埚不能存放在潮湿的地方，不能用水冲洗，可用砂纸直接擦拭，或用酒精擦洗。3.氮化…