E-Chuck

离子注入机作为先进的半导体制造设备，对材料的性能要求非常高。 陶瓷配件作为重要部件，在离子注入机中起着至关重要的作用。   A.离子注入机配件和陶瓷配件的基本特点     离子注入机配件主要采用高纯氮化硅、碳化硅（SiC）、氧化铝、氧化铝/碳化硅微孔陶瓷、氮化铝（AIN）、蓝宝石等陶瓷材料制成，具有以下特点：   1.高硬度、高强度：陶瓷配件具有较高的硬度和强度，在离子注入过程中能承受较高的负荷和磨损…