PBN 环

热解氮化硼也称为PBN。它也具有与热压氮化硼陶瓷相同的六方晶体结构，但生产工艺不同。PBN采用化学气相沉积（CVD）生产，无需经过传统的热压烧结工艺。纯度高达99.99%。得益于高纯度、良好的热稳定性和化学惰性，PBN陶瓷适用于半导体元件或真空系统。广泛应用于制作化合物半导体（如GaAs、InP等）单晶生长用陶瓷坩埚、分子束外延用坩埚、OLED用坩埚等。 PBN陶瓷的主要特性 导热性好 绝缘电阻高 在宽温度范围内具有高介电强度。 极纯 不润湿 …

热解氮化硼 (PBN) 是一种先进的陶瓷，可以以高密度生产出纯度达 99.99% 的产品。它是由氨和卤化硼在高温高真空条件下通过化学气相沉积 (CVD) 工艺制成的：NH3 + BX3 = BN + 3HX，可以制成 PBN 板，也可以直接制成 PBN 最终产品，如坩埚、舟皿、涂层等。 加热元件由合金丝构成，由 PBN 环支撑，可在坩埚内提供出色的温度均匀性，即使在坩埚边缘也能实现高加热效率。坩埚易于更换。