热解氮化硼 (PBN) 是一种先进的陶瓷，可以以高密度生产出纯度达 99.99% 的产品。它是由氨和卤化硼在高温高真空条件下通过化学气相沉积 (CVD) 工艺制成的：NH3 + BX3 = BN + 3HX，可以制成 PBN 板，也可以直接制成 PBN 最终产品，如坩埚、舟皿、涂层等。
加热元件由合金丝构成，由 PBN 环支撑，可在坩埚内提供出色的温度均匀性，即使在坩埚边缘也能实现高加热效率。坩埚易于更换。
高压馈通如何实现准分子激光系统中的可靠功率传输
在半导体光刻、显示面板激光加工和光纤布拉格光栅写入等高精度制造领域，准分子激光器凭借其深紫外波长、高能量密度和精密加工能力，已成为众多先进制造工艺中的关键设备。 准分子激光系统通常采用密封放电腔，通过高压脉冲激发工作气体产生激光输出。在此过…
