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热解氮化硼加热器 Company
目前,传统的绝缘材料存在不耐高温、纯度低、高温下会释放气体、韧性差、高温下不绝缘、易腐蚀等缺点。PBN 绝缘片可以解决这些问题。 特点: 1. 真空下可承受高达 2300°C 的高温,氨气气氛下可承受高达 2700°C 的高温; 2. 纯度高,高温下不会释放任何气体杂质(>99.99%); 3. 韧性好; 4. 高温绝缘性能良好(体积电阻率3.11×1011 Ω•cm); 5. 化学惰性强,耐酸、碱、盐及有机溶剂腐蚀; 6. c方向热导率低,可阻挡热量向下传导,减…
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PBN-PG加热器性能及应用 Company
PBN-PG 陶瓷加热器结合了三层超高纯度陶瓷,PBN-PG-PBN,以产生先进的微陶瓷加热元件系统。PBN 作为绝缘基板,PG 作为电阻元件。我们的 PBN 加热器(热解氮化硼)和 PG 加热器(热解石墨)均采用高温 CVD 制造。这些高性能元件在陶瓷加热器中表现出出色的热性能,包括高导热性和各向异性。 PBN-PG 加热器具有机械耐用性和抗热冲击性,在大多数情况下不受振动影响,并且可以根据特定要求定制热梯度。PBN-PG 加热器具有超快响应和低热质量,功率输出为 35 瓦/厘米…
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用于 Ⅲ-V 和 Ⅱ-VI 半导体晶体外延生长的热解氮化硼 (PBN) MBE 坩埚 Company
热解氮化硼 (PBN) 产品的纯度极高,气态原料的纯度更容易控制。通常,PBN 产品的总杂质含量<100 ppm,这意味着纯度不低于 99.99%。这种高纯度 PBN 产品非常适合半导体行业和真空系统。 分子束外延(MBE)是当今世界最重要的III-V族和II-VI族半导体晶体外延生长工艺之一,是在适当的衬底和条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。 PBN坩埚是MBE工艺中蒸发元素和化合物的最佳容器。 以下是MBE技术的示意图。 注意: 分子束…
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热解氮化硼 (PBN) 灯丝环 Company
PBN 可在超高真空下加热至 2300°C 而不分解,具有纯度高,超过 99.99%,高温下不释放气体杂质等优良特性,这些特性使得 PBN 可以加工成各种形状。 热解氮化硼 (PBN) 因其高工作温度和真空特性,经常用于制作 MBE 设备中固定 Ta 丝的丝环。 INNOVACERA 可以根据尺寸进行定制,而灯丝环通常通过真空方式放在塑料袋中,并用厚泡沫保护。
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用于分子束外延的PBN坩埚 Company
我们的热解氮化硼 (PBN) 采用化学气相沉积 (CVD) 工艺处理。性能卓越的 PBN 是炉、电气、微波和半导体元件的理想选择。 分子束外延 (MBE) 是当今世界上最重要的 III-V 族和 II-VI 族半导体晶体外延生长工艺之一。 MBE 中使用的束源坩埚需要具有耐高温、高纯度、使用寿命长等特点。 PBN 坩埚完全可以满足上述要求。它是 MBE 工艺中蒸发元素和化合物的理想容器。 如需了解有关我们的热解氮化硼材料的更多信息,请立即联系我们。
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用于OLED和MBE扩散室的热解氮化硼 (PBN) 环 Company
热解氮化硼 (PBN) 是一种先进的陶瓷,可以以高密度生产出纯度达 99.99% 的产品。它是由氨和卤化硼在高温高真空条件下通过化学气相沉积 (CVD) 工艺制成的:NH3 + BX3 = BN + 3HX,可以制成 PBN 板,也可以直接制成 PBN 最终产品,如坩埚、舟皿、涂层等。 加热元件由合金丝构成,由 PBN 环支撑,可在坩埚内提供出色的温度均匀性,即使在坩埚边缘也能实现高加热效率。坩埚易于更换。