陶瓷真空馈通

这些组件专为高真空、超高真空和严苛的工作环境而设计，能够在极端温度冲击、机械应力和长期烘烤条件下稳定运行，是真空设备中实现信号传输、电源输入或传感器输出的关键核心组件。

广泛应用于高端科研和工业设备领域，例如质谱分析、CT管、陶瓷芯柱、电子显微镜、粒子加速器、真空冶金、半导体镀膜和航天器模拟舱等。

结构与材料

– 陶瓷绝缘体：高纯度氧化铝陶瓷，具有优异的电绝缘性、耐高温性和化学稳定性

– 金属针/杆：不锈钢、钼、科瓦合金或镍基合金（可选），满足不同的热膨胀系数匹配要求

– 密封方式：真空钎焊（金属-陶瓷共晶钎焊），形成永久性气密连接

– 结构形式：多针设计（2针/3针/4针及定制），可选轴向或法兰式结构

优势：

– 优异的真空密封性能

– 强耐高温和热循环性能

– 高绝缘性能

– 长期可靠性

– 高度可定制

典型应用

– 真空炉和高温真空加热系统

– 真空镀膜和等离子设备

– 半导体和科研真空设备

– 高真空传感器和电真空元件

技术规格：

项目	规格
陶瓷材料	≥95% 氧化铝
密封工艺	高温真空钎焊
工作真空度	高真空/超高真空
泄漏率	≤10⁻⁹ mbar·L/s
工作温度	最高可达300–800°C（取决于结构）
引脚数	1–4 引脚（可定制）
绝缘电阻	≥10⁹ Ω
安装方式	法兰/穿线/定制

这款钎焊陶瓷真空焊接元件在设计时充分考虑了热膨胀匹配、应力释放和真空可靠性。它可以显著降低系统泄漏的风险，提高整机的长期稳定性和一致性。它是高可靠性真空系统中不可或缺的关键基础元件。