Technical Ceramic Solutions

产品系列

微孔陶瓷零件

我司可生产孔径从2-200um的各种规格的微孔陶瓷零件,广泛应用于半导体,磁性材料,电子行业真空吸盘等要求高孔隙率,超微细孔径的场合。

porous ceramic disc

最高温度

多孔陶瓷最高可达 1000C,仅受密封剂、垫圈和/或硬件材料的限制。

耐腐蚀性能

多孔陶瓷可耐大多数酸,但氢氟酸和磷酸除外。 在碱性溶液中,多孔陶瓷可耐受高达 pH9 的碱性溶液。 它还耐有机溶剂。 使用的密封剂、垫圈和/或硬件材料可能是某些流体的限制因素。

可清洁性

多孔陶瓷可通过多种方法清洁,具体取决于要去除的污染物的类型。 方法有喷涂、刷洗、反洗、烘箱烘烤、稀酸清洗、溶剂清洗、蒸汽清洗和超声波清洗等。

多孔陶瓷用于:

陶瓷真空吸盘
陶瓷过滤器
陶瓷扩散器
陶瓷空气轴承
陶瓷透水基材
陶瓷分散介质
陶瓷灰处理
陶瓷芯吸介质
陶瓷流化床板
陶瓷特种分布器
陶瓷呼吸器 – 通风口
多孔陶瓷用于化学工艺、半导体、制药和制造应用中需要均匀控制孔径的情况。

 

微孔陶瓷孔径可以在2~200um范围内选择调整,具体参数如下表;

 

性能 单位 氧化铝 刚玉 硅藻土质 石英
孔径 um 2~80 2~80 0.2~2 10~40
抗压强度 Mpa 50 50 7 7
气孔率 % 35~45 35~45 45~70 30~50
使用特点 —— 耐碱性 耐碱性 中性 耐酸性

也可以根据客户要求的外形及性能进行具体制作。

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