PBN-PG 陶瓷加热器结合了三层超高纯度陶瓷,PBN-PG-PBN,以产生先进的微陶瓷加热元件系统。PBN 作为绝缘基板,PG 作为电阻元件。我们的 PBN 加热器(热解氮化硼)和 PG 加热器(热解石墨)均采用高温 CVD 制造。这些高性能元件在陶瓷加热器中表现出出色的热性能,包括高导热性和各向异性。
PBN-PG 加热器具有机械耐用性和抗热冲击性,在大多数情况下不受振动影响,并且可以根据特定要求定制热梯度。PBN-PG 加热器具有超快响应和低热质量,功率输出为 35 瓦/厘米 2 (225 瓦/平方英寸) 及更高。
PBN-PG 性能优势:
- 微陶瓷加热元件的工作温度为 1600°C。
- 高机械耐用性和尺寸稳定性。
- 尺寸紧凑。 PBN 层提供电气绝缘。
- 可根据特定要求定制热梯度。
- 消除排气和污染。
- 高抗热冲击性。
- 对几乎所有金属、液体和气体均具有化学惰性。
- 提供各种形状的 PG 加热器和 PGN 加热器。
PBN 加热器的潜在应用包括:
- MOCVD 加热器
- 金属加热
- 金属蒸发热源
- 超导体基板加热
- 样品分析加热
- 电子显微镜样品加热
- 半导体基板加热(MBE、CVD、溅射涂层)