MOCVD/MBE设备用PBN板

PBN板可用作绝缘垫、垫片、支架等材料，广泛应用于真空、高温和分子束外延（MBE）设备领域。

热解氮化硼（PBN）是一种白色固体材料，无孔且无毒。氮化硼可以通过压制或烧结方法成型，而高纯度的PBN产品则采用1800℃高温、极低压的气相沉积工艺加工而成。

特性

1. PBN材料在真空环境下可耐2300℃高温，在氨气环境下可耐2700℃高温。
2. 纯度高（>99.99%），高温使用时不会释放气体杂质。
3. 韧性好，类似于石墨的六方结构。
4. 高温绝缘性好，体积电阻率为3.11×1011Ω·cm
5. 化学惰性，耐酸、碱及有机溶剂腐蚀。
6. 通过阻止热传导，减少热量损失。