MOCVD/MBE装置用PBN基板

PBN プレートは、絶縁パッド、ガスケット、ブラケットなどの材料として使用でき、真空、高温、分子線エピタキシー (MBE) 装置の分野で広く使用されています。

熱分解窒化ホウ素（PBN）は、無孔性で無毒性の白色固体です。窒化ホウ素はプレス成形または焼結によって形成されますが、高純度PBN製品は1800℃の高温と極低圧下で蒸着処理されます。

特性

1. PBN材料は、真空環境で2300℃、アンモニア環境で2700℃の高温に耐えることができます。
2. 高純度（>99.99%）のため、高温で使用してもガス不純物は発生しません。
3. 優れた靭性を有し、グラファイトの六方晶系構造に類似しています。
4. 優れた高温絶縁性を有し、体積抵抗率は3.11×1011Ω·cmです。
5. 化学的に不活性で、酸、アルカリ、有機溶剤による腐食に耐性があります。
6. 熱伝導を防ぐことで熱損失を低減します。