PBN板可用作绝缘垫、垫片、支架等材料，广泛应用于真空、高温和分子束外延（MBE）设备领域。
热解氮化硼（PBN）是一种白色固体材料，无孔且无毒。氮化硼可以通过压制或烧结方法成型，而高纯度的PBN产品则采用1800℃高温、极低压的气相沉积工艺加工而成。
特性
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
PBN 是要求高温高纯度应用的理想选择。PBN 是一种采用 CVD 工艺生长的超纯氮化硼固体。该材料无毒、无孔，具有优异的抗热震性和良好的导热性。 应用领域 MBE 坩埚 MBE 家具 真空炉保温 电绝缘体 LEC、VGF 坩埚 相扑坩埚 …
PBN 是一种特殊的陶瓷材料。其沉积过程如同“下雪”——将六边形的 PBN 平行滴在石墨材料上，直至达到一定厚度。冷却后，即成为 PBN 陶瓷部件。PBN 陶瓷广泛用于制作 VGF 坩埚、LEC 坩埚、MBE 坩埚、隔热板、合成舟皿以及用于…
