PBN 是要求高温高纯度应用的理想选择。PBN 是一种采用 CVD 工艺生长的超纯氮化硼固体。该材料无毒、无孔，具有优异的抗热震性和良好的导热性。
应用领域
- MBE 坩埚
- MBE 家具
- 真空炉保温
- 电绝缘体
- LEC、VGF 坩埚
- 相扑坩埚
- 加热元件
氮化硼陶瓷如何满足先进CVD、PVD和MOCVD工艺的材料需求
随着半导体制造工艺不断向更高温度、更高纯度和更复杂的等离子体环境发展，设备内部材料的稳定性和洁净度正成为影响良率和设备寿命的关键因素。在此背景下，氮化硼 (BN) 和热解氮化硼 (PBN) 陶瓷材料的应用正逐渐从传统的耐高温部件扩展到整个工…
