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热解氮化硼 (PBN) 是一种先进的陶瓷，可以以高密度生产出纯度达 99.99% 的产品。它是由氨和卤化硼在高温高真空条件下通过化学气相沉积 (CVD) 工艺制成的：NH3 + BX3 = BN + 3HX，可以制成 PBN 板，也可以直接制成 PBN 最终产品，如坩埚、舟皿、涂层等。 加热元件由合金丝构成，由 PBN 环支撑，可在坩埚内提供出色的温度均匀性，即使在坩埚边缘也能实现高加热效率。坩埚易于更换。