PBN-PG 复合加热器

通过 CVD 方法将热解石墨 (PG) 放置在 PBN 板的表面上，作为导体和加热器。并且 PG 加热元件可以再次被 PBN 覆盖。由于 PG 和 PBN 都非常纯净（99.99% 甚至更高），并且在真空或惰性气体中非常稳定，因此 PBN-PG 加热元件非常耐用并保持腔室清洁。它可以在很短的时间内加热到超高的 1600°C，而不会排放任何气体成分。这些加热元件是半导体行业和需要高温、高真空和高纯度的应用的理想产品。 PBN/PG 加热器优点： 1. PBN 复合加热元件的工作温度…