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Aluminiumnitrid/Boronitrid-Verbund-BN-AlN-Keramikteile für Ionenquellen

BN-AlN-Keramik wird durch Sintern von Boritrid- und Aluminiumnitridpulver hergestellt. Sie verfügt über hervorragende elektrische Isolierfähigkeit, Wärmeleitfähigkeit, hohe Festigkeit, Widerstand gegen thermischen Schock sowie starke Beständigkeit gegen Halogen-Gas-Plasma, was eine Vielzahl von Anwendungen ermöglicht, einschließlich Komponenten für Halbleiterproduktionsausrüstung und Komponenten, die effektive Wärmeableitung erfordern.

Die Ionenquelle ist eine Vorrichtung, die atomare und molekulare Ionen erzeugt, die sich im Vakuumbehälter befinden. Aluminiumnitrid (AIN)/Boronitrid (BN) Verbund hat hervorragende elektrische Isolierfähigkeit, Wärmeleitfähigkeit, Dichtheit für Vakuum und gibt nicht viel Gas ab. Daher übernimmt es die Rolle von Wärmeableitern und Wärmeübertragungsplatten in Ionenquellen.

 

Materialvorteile:

  • Hohe mechanische Festigkeit.
  • Hohe Wärmeleitfähigkeit.
  • Geringe thermische Ausdehnung.
  • Geringe dielektrische Verluste.
  • Hervorragende elektrische Isolierung.
  • Hohe Korrosionsbeständigkeit – nicht von geschmolzenen Metallen benetzt.
  • Hervorragende Bearbeitbarkeit – BN-AlN kann zu hochpräzisen komplexen Formen verarbeitet werden.
  • Es verfügt über hervorragende Dichtheit für Vakuum und gibt nicht viel Gas ab.
  • Eigenschaften für Hochfrequenzwellen, die es ermöglichen, sichtbares Infrarotlicht leicht durchzulassen.

 

Materialeigenschaften:

Eigenschaften Einheiten BN-AlN
Hauptzusammensetzung / BN+ALN
Farbe / Graugrün
Dichte g/cm³ 2,8–2,9
Dreipunktbiegefestigkeit MPa 90
Druckfestigkeit MPa 220
Wärmeleitfähigkeit W/m·K 85
Temperaturausdehnungskoeffizient (20–1000°C) 10⁻⁶/K 2,8
Höchstzulässige Einsatztemperatur In Atmosphäre °C 900
In inaktiven Gasen °C 1750
In Hochvakuum °C 1750

 

 

Anwendungen

  • Wärmeableiter
  • Vakuumkomponenten
  • Komponenten mit geringem Dielektrizitätskonstanten und geringem Verlustfaktor
  • Teile mit niedrigem thermischen Ausdehnungskoeffizienten
  • Elektronische Komponenten mit elektrischer Isolierung und Wärmeableitung
  • Elektrische Propulsionsentladungskanäle für Hall-Effekt-Triebwerke

Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/aluminum-nitride-boron-nitride-composite-bn-aln-ceramic-parts-for-ion-source.

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