technical ceramic solutions

Productos

Base de Cerámica de Alúmina

Cerámica de Alúmina (Al₂O₃) base y boquillas se utilizan ampliamente en equipos de procesamiento de semiconductores, como equipos de implantación y componentes de generadores de electrones, debido a sus excelentes propiedades eléctricas, térmicas y mecánicas. La base de cerámica de alúmina tiene un excelente aislamiento eléctrico y una alta conductividad térmica, lo que le permite desempeñar un papel muy importante en la industria de semiconductores.

Propiedades de las piezas estructurales de base de cerámica de alúmina:

Artículo Condición de prueba Unidad y símbolo 95% Al2O3 99% Al2O3 99.7% Al2O3
Principal ingrediente químico Al2O3 Al2O3 Al2O3
Densidad en masa g/cm3 3.6 3.89 3.96
Temperatura máxima de uso 1450°C 1600°C 1650°C
Absorción de agua % 0 0 0
Dureza ROHS ≥85 ≥89 ≥89
Resistencia a la flexión 20° C MPa (psi x 103) 358 (52) 550 550
Resistencia a la compresión 20° C MPa (psi x 103) 2068 (300) 2600(377) 2600(377)
Toughness de fractura K(I c) Mpa m1/2 4 – 5 5.6 6
Coeficiente de expansión térmica 25-1000° C 1X 10-6/°C 7.6 7.9 8.2
Coeficiente de conductividad térmica 20° C W/m °K 16 30 30.4
Resistencia al choque térmico Tc °C 250 200 200
Constante dieléctrica 1MHz.25°C 9 9.7 9.7
Resistencia dieléctrica ac-kV/mm (ac V/mil) 8.3 (210) 8.7 (220) 8.7 (220)
Resistividad volumétrica 100°C ohm-cm > 10^13 > 10^14 > 10^14

Los componentes generadores de electrones son cruciales en la fabricación de semiconductores y diversas aplicaciones de alta tecnología, las bases y boquillas de cerámica de alúmina son componentes clave de aislamiento y protección en los componentes generadores de electrones.

Las piezas de cerámica de alúmina de Innovacera, incluyendo las bases de cerámica de alúmina, han recibido una buena retroalimentación de muchas plantas de fabricación de semiconductores. Si necesita una base de cerámica de alúmina personalizada u otras piezas de cerámica de alúmina personalizadas, no dude en contactarnos en sales@innovacera.com.


Declaración: Este es un artículo original de INNOVACERA®. Por favor, indique el enlace de origen al reimprimir: https://www.innovacera.com/es/product/alumina-ceramic-base.