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Alumina-Keramik-Basis

Alumina-Keramik (Al₂O₃) Basis und Düsen werden weithin in Halbleiterprozessausrüstung wie Implanter-Geräte und Elektronengenerator-Komponenten eingesetzt, aufgrund ihrer exzellenten elektrischen, thermischen und mechanischen Eigenschaften. Die Alumina-Keramik-Basis verfügt über eine sehr gute elektrische Isolierung und hohe Wärmeleitfähigkeit, was sie zu einer entscheidenden Komponente in der Halbleiterindustrie macht.

Alumina Keramik Basis Strukturteileigenschaften:

Artikel Prüfbedingung Einheit & Symbol 95% Al2O3 99% Al2O3 99.7% Al2O3
Hauptchemischer Bestandteil Al2O3 Al2O3 Al2O3
Rohdichte g/cm3 3.6 3.89 3.96
Maximale Betriebstemperatur 1450°C 1600°C 1650°C
Wasseraufnahme % 0 0 0
ROHS-Härte ≥85 ≥89 ≥89
Biegefestigkeit 20° C MPa (psi x 103) 358 (52) 550 550
Druckfestigkeit 20° C MPa (psi x 103) 2068 (300) 2600(377) 2600(377)
Bruchzähigkeit K(I c) Mpa m1/2 4 – 5 5.6 6
Thermische Ausdehnungskoeffizient 25-1000° C 1X 10-6/°C 7.6 7.9 8.2
Wärmeleitfähigkeit 20° C W/m °K 16 30 30.4
Thermoschockbeständigkeit Tc °C 250 200 200
Dielektrische Konstante 1MHz.25°C 9 9.7 9.7
Dielektrische Festigkeit ac-kV/mm (ac V/mil) 8.3 (210) 8.7 (220) 8.7 (220)
Volumenwiderstand 100°C ohm-cm > 10^13 > 10^14 > 10^14

Elektronengenerator-Komponenten sind entscheidend für die Halbleiterherstellung und verschiedene Hochtechnologieanwendungen. Alumina-Keramik-Basis und Düsen sind zentrale Isolier- und Abschirmkomponenten in Elektronengenerator-Komponenten.

Innovacera Alumina-Keramik-Teile, einschließlich der Alumina-Keramik-Basis, erhalten eine positive Rückmeldung von vielen Halbleiterfertigungsanlagen. Wenn Sie eine maßgeschneiderte Alumina-Keramik-Basis oder andere maßgeschneiderte Alumina-Keramik-Teile benötigen, kontaktieren Sie uns bitte unter sales@innovacera.com.


Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/alumina-ceramic-base.