氧化铝陶瓷基体结构件属性：
| 项目 | 测试条件 | 单位及符号 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.7% Al2O3 |
| 主要化学成分 | Al2O3 | Al2O3 | Al2O3 | ||
| 体积密度 | g/cm3 | 3.6 | 3.89 | 3.96 | |
| 最高使用温度 | 1450°C | 1600°C | 1650°C | ||
| 吸水率 | % | 0 | 0 | 0 | |
| ROHS硬度 | ≥85 | ≥89 | ≥89 | ||
| 弯曲强度 | 20° C | MPa (psi x 103) | 358 (52) | 550 | 550 |
| 抗压强度 | 20° C | MPa (psi x 103) | 2068 (300) | 2600(377) | 2600(377) |
| 断裂韧性 | K(I c) | Mpa m1/2 | 4 – 5 | 5.6 | 6 |
| 热膨胀系数 | 25-1000° C | 1X 10-6/°C | 7.6 | 7.9 | 8.2 |
| 导热系数 | 20° C | W/m °K | 16 | 30 | 30.4 |
| 抗热震性 | Tc | °C | 250 | 200 | 200 |
| 介电常数 | 1MHz.25°C | 9 | 9.7 | 9.7 | |
| 介电强度 | 交流-kV/mm (交流 V/mil) | 8.3 (210) | 8.7 (220) | 8.7 (220) | |
| 体积电阻率 | 100°C | 欧姆-厘米 | > 10^13 | > 10^14 | 14 |
电子发生器组件在半导体制造和各种高科技应用中至关重要，氧化铝陶瓷基座和喷嘴是电子发生器组件中的关键绝缘和屏蔽组件。
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