Pequeño Feedthrough HV se utiliza ampliamente en sistemas de láseres excímer, proporcionando una solución de alimentación de alta tensión confiable para la cavidad de descarga del láser. Los láseres excímer, como equipamiento importante en la fabricación moderna de alto nivel, desempeñan un papel significativo en litografía de semiconductores, recocido de paneles de pantallas, fabricación automovilística y comunicación de fibra óptica, entre otros.
Aplicaciones de los láseres excímer
El láser excímer se aplica ampliamente debido a sus características de «procesamiento frío» y alta precisión:
Semiconductores e industria optoelectrónica
Semiconductor litografía, procesamiento de wafer, fabricación de componentes ópticos, escritura de rejillas de fibra
Paneles de visualización
Recocido de silicio policristalino a baja temperatura (LTPS), separación de pantallas flexibles
Fabricación automovilística
Tratamiento superficial de cilindros del motor, debilitamiento de airbags
energía nueva e investigación
Fabricación de células fotovoltaicas, modificación de superficie de materiales, experimentos de investigación
Estructura y materiales del producto
| Componente | Material | Propiedad |
| Aislante | Cerámica de alumina al 95% | Alta rigidez dieléctrica, resistencia térmica elevada, baja tasa de emisión de gases |
| Conductor/Pin | Aleación Kovar / cobre OFC | Buena compatibilidad de expansión térmica y excelente rendimiento de conductividad eléctrica |
| Carcasa / Brida | Acero inoxidable 304 / aleación Kovar | Resistencia a la corrosión, soldable, sellado al vacío |
Parámetros técnicos de especificación
| parámetro | valor típico |
| material aislante | Cerámica de alúmina 95% (Al₂O₃) |
| partes metálicas | Acero inoxidable 304 / aleación Kovar / cobre sin oxígeno |
| Rango de resistencia a presión | 1 kV - 30 kV (voltajes más altos pueden personalizarse) |
| temperatura de operación | -40 °C ~ +300 °C |
| Tasa de fuga | Tasa de fuga de helio ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| resistencia de aislamiento | ＞10¹² Ω |
| conector de brida | CF / KF / personalizado |
Declaración: Este es un artículo original de INNOVACERA®. Por favor, indique el enlace de origen al reimprimir: https://www.innovacera.com/es/product/small-hv-feedthrough
Preguntas frecuentes
¿Qué materiales se utilizan en los pequeños feedthrough de alta tensión? ¿Cómo garantizan el sellado hermético en vacío alto?
El pequeño feedthrough de alta tensión (HV) de INOVACERA utiliza cerámica de alúmina al 95% como aislante principal para proporcionar alta rigidez dieléctrica y resistencia térmica hasta 300 °C. Las componentes metálicas consisten en acero inoxidable 304 resistente a la corrosión, cobre sin oxígeno (OFC) con alta conductividad y aleación Kovar, que coincide con el coeficiente de expansión térmica de la cerámica. Mediante soldadura de precisión de estos materiales, el feedthrough alcanza una tasa de fuga de helio ultrabajo ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s, manteniendo una aislación hermética estable en entornos de alto vacío exigentes.
¿Dónde se aplican los pequeños feedthrough de alta tensión? ¿Por qué son críticos para los láseres excímer?
Estos feedthrough se integran ampliamente en sistemas de vacío alto, especialmente dentro de las cámaras de descarga de los sistemas de láseres excímer. Los láseres excímer son esenciales en la fabricación de alto nivel para aplicaciones como litografía de semiconductores, recocido de paneles de pantallas LTPS y escritura de rejillas de fibra óptica. El pequeño feedthrough de alta tensión es crítico porque transmite de forma segura y hermética potencia eléctrica de alta tensión (de 1 kV a 30 kV) desde el lado atmosférico hacia la cámara de vacío, evitando la perforación eléctrica y protegiendo la integridad del sistema de vacío.
