小型高压馈通广泛应用于准分子激光系统，在激光放电腔中提供可靠的高电压输入解决方案。准分子激光作为现代高端制造的重要设备，在半导体光刻、显示面板LTPS退火、汽车制造和光通信等领域发挥着关键作用。
准分子激光应用
准分子激光凭借其「冷加工」与高精度特性得到广泛应用：
半导体与光电行业
半导体光刻、晶圆加工、光学元件制造、光纤光栅写入
显示面板
低温多晶硅（LTPS）退火、柔性屏幕剥离
汽车制造
发动机缸体表面处理、安全气囊弱化
新能源与科研
光伏电池制造、材料表面改性、科研实验
产品结构与材料
| 部件 | 材料 | 特性 |
| 绝缘体 | 95%氧化铝陶瓷 | 高绝缘强度、耐高温、低气体释放率 |
| 导体/针 | Kovar合金/无氧铜（OFC） | 热膨胀系数匹配良好、电导率优异 |
| 外壳/法兰 | 304不锈钢/Kovar合金 | 耐腐蚀、可焊接、真空密封 |
技术规格参数
| 参数 | 典型值 |
| 绝缘材料 | 95%Al₂O₃陶瓷 |
| 金属部件 | 304不锈钢/Kovar合金/无氧铜 |
| 电压范围 | 1kV - 30kV（更高电压可定制） |
| 工作温度 | -40°C ~ +300°C （可根据结构定制） |
| 泄漏率 | 氦泄漏率 ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| 绝缘电阻 | ＞10¹² Ω |
| 法兰连接器 | CF/KF/定制 |
声明：此篇为INNOVACERA®原创文章，转载请标明出处链接：https://www.innovacera.com/zh-hans/product/small-hv-feedthrough
常见问题
小型高压馈通使用哪些材料？如何确保高真空密封？
INOVACERA的小型高压（HV）馈通采用95%氧化铝陶瓷作为主绝缘体，提供高达300°C的高绝缘强度与耐温性能。金属部件由耐腐蚀的304不锈钢、高导电性无氧铜（OFC）及热膨胀系数匹配氧化铝陶瓷的Kovar合金组成。通过精密钎焊工艺，实现了≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s的超高氦泄漏率，在苛刻高真空环境下保持稳定的气密绝缘性能。
小型高压馈通应用于哪些场景？为何对准分子激光至关重要？
这类馈通广泛集成于高真空系统，尤其应用于准分子激光系统的放电腔内部。准分子激光作为高端制造的核心设备，应用于半导体光刻、显示面板LTPS退火、光纤光栅写入等领域。小型高压馈通至关重要，因为它能安全且气密地将高电压电能（1kV至30kV）从大气侧传输至真空腔体内部，防止电气击穿的同时保护真空系统完整性。
