Kleine HV-Durchführung wird in Excimer-Laser-Systemen weit verbreitet eingesetzt und bietet eine zuverlässige Hochspannungsversorgung für die Entladungskammer des Lasers. Excimer-Laser sind als wichtige Ausrüstung in modernen Hochleistungsindustrien von großer Bedeutung für Halbleiter-Lithographie, Bildschirmplatten-Annealing, Automobilherstellung und optische Faser-Kommunikation, unter anderem.
Anwendungen von Excimer-Laser
Der Excimer-Laser wird aufgrund seiner Eigenschaften für „kalte Bearbeitung“ und hohe Präzision häufig eingesetzt:
Semiconductor- und optoelektronische Industrie
Halbleiter-Lithographie, Wafer-Verarbeitung, Herstellung optischer Komponenten, Fasergitter-Schreiben
Bildschirmplatten
Niedrigtemperatur-polykristallines Silizium (LTPS)-Annealing, Abziehen flexibler Bildschirme
Automobilherstellung
Oberflächenbehandlung von Motorzylindern, Schwächung der Airbags
Neue Energie- und Forschung
Herstellung von Fotovoltaikzellen, Materialoberflächenmodifikation, Forschungsexperimente
Produktstruktur und Materialien
| Bestandteil | Material | Eigenschaft |
| Isolator | 95 % Aluminiumoxid-Keramik | Hohe Durchschlagfestigkeit, hohe Temperaturbeständigkeit, geringe Gasemissionsrate |
| Leiter/Pin | Kovar-Legierung / sauerstofffreies Kupfer (OFC) | Gute Wärmeausdehnungskoeffizienten-Kompatibilität und exzellente elektrische Leitfähigkeit |
| Gehäuse / Flansch | 304 Edelstahl / Kovar-Legierung | Korrosionsbeständigkeit, schweißbar, vakuumdicht |
Technische Spezifikationen
| Parameter | Typischer Wert |
| Isoliermaterial | 95 % Al₂O₃-Keramik |
| Metallteile | 304 Edelstahl/Kovar-Legierung/sauerstofffreies Kupfer |
| Spannungsbereich | 1 kV - 30 kV (Höhere Spannungen sind anpassbar) |
| Betriebstemperatur | -40 °C ~ +300 °C (kann nach Strukturanforderungen angepasst werden) |
| Leckrate | Helium-Leckrate ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| Isolationswiderstand | >10¹² Ω |
| Flanschanschluss | CF / KF / anpassbar |
Erklärung: Dies ist ein Originalartikel von INNOVACERA®. Bitte geben Sie den Quelllink an, wenn Sie ihn erneut veröffentlichen: https://www.innovacera.com/de/product/small-hv-feedthrough
Häufig gestellte Fragen
Welche Materialien werden in kleinen HV-Durchführungen verwendet? Wie gewährleisten sie eine Hochvakuumdichtung?
INOVACERAs kleine Hochspannungs-(HV)-Durchführungen verwenden 95 % Aluminiumoxid-Keramik als primären Isolator, um eine hohe Durchschlagfestigkeit und Temperaturbeständigkeit bis zu 300 °C zu gewährleisten. Die metallischen Komponenten bestehen aus korrosionsbeständigen 304 Edelstahl, hochleitenden sauerstofffreien Kupfer (OFC) und Kovar-Legierung, die den Wärmeausdehnungskoeffizienten der Keramik entspricht. Durch präzises Löten dieser Materialien erreicht die Durchführung eine ultra-niedrige Helium-Leckrate von ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s und gewährleistet eine stabile hermetische Isolierung unter anspruchsvollen Hochvakuumumgebungen.
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Wo werden kleine HV-Durchführungen eingesetzt? Warum sind sie kritisch für Excimer-Laser?
Diese Durchführungen sind weit verbreitet in Hochvakuum-Systemen integriert, besonders in den Entladungskammern von Excimer-Laser-Systemen. Excimer-Laser sind entscheidend für die Hochleistungsfertigung für Anwendungen wie Halbleiter-Lithographie, Bildschirmplatten-LTPS-Annealing und optische Faser-Gitter. Die kleine HV-Durchführung ist kritisch, weil sie Hochspannungs-Elektrizität (im Bereich von 1 kV bis 30 kV) sicher und hermetisch von der atmosphärischen Seite in die Vakuumkammer überträgt, elektrischen Durchbruch verhindert und die Integrität des Vakuum-Systems schützt.
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