En la fabricación de semiconductores, el nitruro de boro se puede utilizar como agente de grabado y materia prima para la deposición de películas delgadas, actuando como una capa protectora que previene daños o contaminación del dispositivo.
Además, el nitruro de boro también se puede utilizar como material fuente de evaporación por haz de electrones para la preparación de diversos materiales de película delgada.
Por ejemplo: crisol conductor de nitruro de boro para recubrimiento por evaporación por haz de electrones (crisol BN), para equipos de deposición de películas delgadas.
Los crisoles conductores de nitruro de boro son crisoles lisos de alta pureza diseñados para recubrimientos por evaporación por haz de electrones.
Presenta una excelente resistencia a altas temperaturas y propiedades de ciclo térmico, y no reacciona con diversos metales ni tierras raras cerámicas.
Incluso bajo condiciones de calentamiento y enfriamiento rápidos, el crisol permanece intacto.
Se puede utilizar para la fusión de aleaciones, la sinterización de tierras raras y cerámica, y para recubrimientos por evaporación por haz de electrones.
Se utiliza comúnmente en procesos de evaporación térmica, como el calentamiento por inducción de alta frecuencia, recubrimientos, recubrimientos por evaporación por haz de electrones, aluminio y silicio.
Los crisoles conductores de nitruro de boro ofrecen alta pureza, excelente acabado y excelentes propiedades de recubrimiento por evaporación por haz de electrones.
Aumenta la velocidad de evaporación, acelera los cambios de material, mejora la estabilidad térmica y reduce los requisitos de energía, lo que en última instancia aumenta la productividad y la rentabilidad.
Ventajas:
Buen acabado de película, alta pureza, menor contaminación, larga vida útil.
1. Excelente resistencia a altas temperaturas y ciclos térmicos.
Tiene una baja tasa de expansión térmica y es resistente a la humectación de la mayoría de los metales fundidos.
2. Resistente al calor hasta 2000 °C, el nitruro de boro no reacciona con el aluminio y no es volátil.
3. Aumenta la tasa de evaporación. Aumentar la velocidad de evaporación resulta en tiempos de ciclo más cortos y un mayor rendimiento general.
4. Cambio rápido de material: Los crisoles conductores de nitruro de boro facilitan el cambio rápido de material, minimizan el tiempo de inactividad de la cámara del horno y mejoran la eficiencia del proceso.
5. Mayor estabilidad térmica: Estos crisoles tienen una mayor estabilidad térmica, lo que reduce la transferencia de calor desde el propio crisol, garantizando una evaporación constante y controlable.
Ingredientes principales: BN + TiB₂
Densidad: 3,0 g/cm³
Composición del aglutinante: B₂O₃
Color: Gris
Resistividad a temperatura ambiente: 300-2000 Ω·cm
Temperatura de funcionamiento: inferior a 1800 °C
Conductividad térmica: > 40 W/m³
Coeficiente de expansión térmica: (4-6) x 10-6 K
Resistencia a la flexión: > 130 MPa
Velocidad de evaporación: 0,35-0,5 g/min·cm²
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