El nitruro de boro hexagonal prensado en caliente se conoce a menudo como «grafito blanco» debido a su estructura de capas similar a la del grafito. Posee características térmicas excepcionales: alta conductividad térmica y excelente resistencia al choque térmico. Es estable hasta 2000 °C en atmósferas reductoras y hasta 900 °C en atmósferas oxidantes. Presenta características como alta maquinabilidad, baja expansión térmica, transparencia a microondas y alta resistencia en húmedo a metales fundidos, escorias y vidrio. Las piezas cerámicas de nitruro de boro se utilizan ampliamente en sistemas de PVD, MOCVD y MBE, componentes de hornos, crisoles de fusión, aislantes, arandelas, boquillas, tubos de microondas, disipadores de calor y blindaje contra la radiación térmica.
Un reactor MOCVD es una cámara fabricada con un material que no reacciona con los productos químicos utilizados. Además, debe soportar altas temperaturas. Esta cámara se compone de paredes, un revestimiento, un susceptor, unidades de inyección de gas y unidades de control de temperatura.
En el reactor MOCVD, el sustrato se apoya en un pedestal, que también actúa como susceptor. El pedestal/susceptor es la principal fuente de energía térmica en la cámara de reacción. Solo se calienta el susceptor, por lo que los gases no reaccionan antes de alcanzar la superficie caliente de la oblea. Sin embargo, las paredes de la cámara de reacción en un reactor de pared fría pueden calentarse indirectamente por el calor que irradia el pedestal/susceptor caliente, pero se mantendrán más frías que el pedestal/susceptor y el sustrato que este soporta. Por lo tanto, el nitruro de boro es una buena opción, ya que la densidad de potencia, la temperatura de funcionamiento, el grado de aislamiento y la rigidez dieléctrica de los elementos calefactores pueden mejorarse considerablemente al utilizarlo como aislante. Además, es más económico y reduce la inercia térmica. La forma anular reduce el tamaño del sistema de calentamiento y mejora la transferencia de calor.
¿Qué debo tener en cuenta al utilizar productos de nitruro de boro?
1. Mantenga los productos de nitruro de boro envasados al vacío antes de usarlos. 2. Después de retirar el envase al vacío, guarde los productos BN en un lugar seco y fresco. Mantenga el envase bien cerrado mientras no los use.
3. Los productos BN son frágiles. Manipule con cuidado.
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