MOCVD 用氮化硼部件

热压六方氮化硼通常被称为“白色石墨”，因为它具有与石墨相似的层状结构。它具有出色的热特性：高导热性和出色的抗热震性。它在还原气氛中高达 2000°C 时稳定，在氧化气氛中高达 900°C 时稳定。它具有高度可加工、低热膨胀、微波透明性和对熔融金属、炉渣和玻璃的高抗湿性等特点。氮化硼陶瓷零件广泛用作 PVD、MOCVD、MBE 系统、炉组件、熔炼坩埚、绝缘体、垫圈、喷嘴、微波管、散热器和热辐射屏蔽。

MOCVD 反应器是一种由不会与所用化学品发生反应的材料制成的腔室。它还必须承受高温。该腔室由反应器壁、衬套、基座、气体注入单元和温度控制单元组成。
在 MOCVD 反应器中，基板由基座支撑，基座也充当基座。基座/基座是反应室中热能的主要来源。只有基座被加热，因此气体在到达热晶圆表面之前不会发生反应。然而，冷壁反应器中的反应室壁可能会被热基座/基座散发的热量间接加热，但会比基座/基座和基座/基座支撑的基板保持更低的温度。因此，氮化硼是一个不错的选择，因为使用氮化硼作为绝缘体可以大大提高加热元件的功率密度、工作温度、绝缘等级和介电强度。它也更经济，并降低了热惯性。环形形状减小了加热系统的尺寸并改善了传热。

使用氮化硼产品时应注意什么？
1. 使用前，请将 BN 产品置于真空包装中。
2. 取下真空包装后，将 BN 产品存放在干燥阴凉的环境中。不使用时，请将容器盖紧。
3. BN 产品易碎。请小心处理。