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Piezas de cerámica de nitruro de boro (BN) para cámaras de plasma

Fecha de publicación: Autor:Innovacera

El nitruro de boro se conoce a menudo como «grafito blanco» debido a su estructura de capas similar a la del grafito. Posee excelentes propiedades de resistencia a altas temperaturas, incluyendo alta rigidez dieléctrica, conductividad térmica y excelente inercia química, lo que permite superar los desafíos de algunos de los campos de aplicación más exigentes.

La cerámica de nitruro de boro (BN) es única en entornos de plasma por su resistencia a la pulverización catódica y su baja propensión a generar iones secundarios, incluso en presencia de campos electromagnéticos intensos. La resistencia a la pulverización catódica ayuda a prolongar la vida útil de los componentes, mientras que la baja generación de iones secundarios ayuda a mantener la integridad del entorno de plasma. Por lo tanto, la cerámica de nitruro de boro (BN) se utiliza ampliamente para confinar el arco de plasma en la cámara de pulverización catódica al material objetivo y evitar la erosión de los componentes integrales en la cámara de proceso.

BN component

Los principales productos de nitruro de boro (BN) para aplicaciones de plasma incluyen protectores y guías de arco, marcos de objetivo, protectores y juntas que se utilizan en la fabricación de cámaras de plasma PVD. Asimismo, la cerámica de nitruro de boro (BN) también se utiliza en propulsores de efecto Hall que utilizan plasma como método de propulsión para satélites en órbita y sondas de espacio profundo.

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