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等离子室氮化硼陶瓷 (BN) 零件

氮化硼通常被称为“白色石墨”,因为它具有与石墨相似的层状结构。它们具有出色的耐高温性能,包括高介电强度、热导率和出色的化学惰性,可以解决一些最苛刻的应用领域的挑战。

 

氮化硼陶瓷 (BN) 在等离子环境中具有独特的抗溅射性能,即使在强电磁场存在的情况下也不易产生二次离子。抗溅射性能有助于延长组件寿命,而低二次离子产生有助于保持等离子环境的完整性。因此,氮化硼陶瓷 (BN) 被广泛用于将溅射室中的等离子电弧限制在目标材料上,并防止工艺室中整体组件的腐蚀。

 

BN components

 

氮化硼 (BN) 用于等离子应用的主要产品包括用于制造 PVD ​​等离子室的电弧屏蔽和导轨、靶框、屏蔽和垫片。同时,氮化硼 (BN) 陶瓷还用于霍尔效应推进器,该推进器使用等离子作为轨道卫星和深空探测器的推进方法。

 

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