technical ceramic solutions

等离子室氮化硼陶瓷 (BN) 零件

氮化硼通常被称为“白色石墨”,因为它具有与石墨相似的层状结构。它们具有出色的耐高温性能,包括高介电强度、热导率和出色的化学惰性,可以解决一些最苛刻的应用领域的挑战。

 

氮化硼陶瓷 (BN) 在等离子环境中具有独特的抗溅射性能,即使在强电磁场存在的情况下也不易产生二次离子。抗溅射性能有助于延长组件寿命,而低二次离子产生有助于保持等离子环境的完整性。因此,氮化硼陶瓷 (BN) 被广泛用于将溅射室中的等离子电弧限制在目标材料上,并防止工艺室中整体组件的腐蚀。

 

BN components

 

氮化硼 (BN) 用于等离子应用的主要产品包括用于制造 PVD ​​等离子室的电弧屏蔽和导轨、靶框、屏蔽和垫片。同时,氮化硼 (BN) 陶瓷还用于霍尔效应推进器,该推进器使用等离子作为轨道卫星和深空探测器的推进方法。

 

如果您想了解有关我们的氮化硼和复合氮化硼的更多信息以及它们如何使您的运营受益,请立即联系我们!


声明:此篇为INNOVACERA®原创文章,转载请标明出处链接:https://www.innovacera.com/zh-hans/news-zh-hans/boron-nitride-ceramics-bn-parts-for-plasma-chambers.html

Related Products

  • Ceramic Vacuum Feedthrough

    陶瓷真空馈通

    Innovacera的陶瓷-金属密封组件,例如陶瓷真空馈通件,采用高纯度氧化铝陶瓷和精密加工的金属棒制成。通过高温真空钎焊工艺,实现了永久性的高强度和超高气密性密封连接。

  • Ceramic Cartridge Spacer

    陶瓷方片

    这款高纯度氧化铝唱头振膜外观洁白精致,尺寸小巧(22.5×17×1.5mm)。采用现代陶瓷制造工艺,使其机械性能更加均衡,确保唱臂运行更加稳定精准。

  • Feedthrough for laser power supply

    密封陶瓷馈通

    这种高电流陶瓷馈通装置是为 CO₂ 激光功率系统设计的,其中稳定的电流传输、电气绝缘和机械可靠性对于激光的连续运行至关重要。

发送询盘