technical ceramic solutions

窒化アルミナセラミック基板

窒化アルミナ (ALN) は、非常に高い熱伝導率(最大230W/m.K)と優れた電気絶縁特性を併せ持つ、非常に興味深い先進的な技術セラミック材料です。

 

窒化アルミナセラミック

 

このため、窒化アルミニウム(AlN)セラミック基板は、パワーエレクトロニクスやマイクロエレクトロニクスで広く使用されています。 例えば、半導体の回路キャリア(基板)として、あるいはLED照明技術やハイパワー電子機器のヒートシンクとして使用されています。

 

窒化アルミナセラミック基板

 

窒化アルミナ(AlN)セラミック基板の特徴

·高熱伝導率(170-230W/mK),アルミナセラミック基板の9.5倍。

 

·熱膨張係数はシリコン(Si)、GaN、GaAs半導体とほぼ同じです。 このため、シリコン(Si)チップや熱サイクルにおいて高い信頼性を実現することができる。

 

·電気絶縁性が高く、誘電率がはるかに小さい。

 

·高い機械的強度(450MPa)。

 

·溶融金属に対する優れた耐食性。

 

·極めて純粋、無毒。

 

AlN セラミックスの材料特性:

特性 単位 AN170 AN200 AN230 AN99 AN999
グレー グレー ベージュ グレー ベージュ
AlN成分 ≥95% ≥95% ≥96% ≥99% ≥99.9%
体積密度 g/cm3 ≥3.30 ≥3.30  ≥3.28 ≥3.26 ≥3.25
曲げ強度 MPa ≥400 ≥300 ≥300 ≥300 ≥300
圧縮強度 MPa 2500 2000 2000 2000 2000
Hv 500g Gpa 10.5 9.5 9 9 9
ヤング率 Gpa 300 300 300 280 280
熱伝導率(@20°C) W/m·K ≥170 ≥200 ≥220 ~100 ~90
比熱 KJ/(Kg·K) 0.74 0.74 0.73 0.73 0.73
C.T.E (r.t.-400°C) 10-6/K 4.6 4.6 4.6 4.6 4.6
体積抵抗率 Ω·cm 20°C ≥1014 ≥1014 ≥1013 ≥1010 ≥1010
絶縁破壊強度 KV/mm ≥16 ≥16 ≥15 ≥15 ≥15
比誘電率(@1MHz) 8.6 8.6 8.6 8.6 8.6
誘電正接 (@1MHz) ×10-4 5 5 5 5

 

·窒化アルミナ (AlN) セラミックス基板の用途

 

·マイクロエレクトロニクス:集積回路や電子機器に適用される。

 

·LEDパッケージ:LEDアプリケーションにおける効果的な熱管理の確保。

 

·パワーエレクトロニクス:パワーモジュールおよび高周波回路用。

 

·半導体製造:半導体デバイスに安定したプラットフォームを提供する。

 

·Microwave と RF 部品:高周波性能を必要とする用途に最適。

 

·窒化アルミナ(AlN)セラミック基板は、薄膜、厚膜、ダイレクトボンディング銅、反応性金属ろう付け、ダイレクト銅めっきなど、さまざまな金属化プロセスに使用できます。

 

窒化アルミニウム薄膜メタライゼーション製品写真

 

内部での高度な処理

窒化アルミニウムウェーハ基板

Innovacera リードタイムを短縮し、品質を向上させるために必要なすべての高度なサービスを提供します。
表面処理:
AF = 焼結状態
LBS = 両面ラップ加工(25u” Ra)
PBS = 両面研磨(2u” Ra)
P1S = 片面研磨(2u” Ra)
改良された公差、表面仕上げ、代替寸法もご利用いただけます。

標準基材と特注基材が利用可能です。

 

セラミックス基板

 

標準キューブ:25.4mm、50.8mm、101.6mm 和 114.3mm(1ʺ、2ʺ、 4ʺ、4.5ʺ)
円形:φ101.6mm、φ152.4mm、φ203.2mm、φ304.8mm 和 φ356mm (4ʺ、6ʺ、8ʺ、12ʺ、14ʺ)
利用可能厚さ:0.2~25.4mm (0.008ʺ 至 0.140ʺ)
特注の形状やサイズも承ります!

 

弊社は材料選定や製品設計をサポートします。
ご興味がございましたら、sales@innovacera.comまでお問い合わせてください。

ENQUIRY