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氮化铝陶瓷基板

氮化铝 (AlN) 是一种先进的技术陶瓷材料,具有非常高的热导率(高达 230 W/m.K)和优异的电绝缘性能的极其有趣的组合。

 

氮化铝陶瓷

 

这使得氮化铝 (AlN) 陶瓷基板广泛应用于电力电子和微电子领域。例如,它用作半导体中的电路载体(基板)或 LED 照明技术或大功率电子设备中的散热器。

 

氮化铝陶瓷基板

 

氮化铝(AlN)陶瓷基板优势

·高热导率(170-230W/mK),比氧化铝陶瓷基板高出9.5倍。

 

·热膨胀系数与硅(Si)、GaN和GaAs半导体相似。这有助于实现硅(Si)芯片和热循环的高可靠性。

 

·高电绝缘性,介电常数更小。

 

·高机械强度(450MPa)。

 

·对熔融金属具有优异的耐腐蚀性。

 

·纯度极高,无毒性。

 

AlN 陶瓷的材料特性:

特性 单位 AN170 AN200 AN230 AN99 AN999
颜色 灰色 灰色 米色 灰色 米色
AlN含量 ≥95% ≥95% ≥96% ≥99% ≥99.9%
体积密度 g/cm3 ≥3.30 ≥3.30  ≥3.28 ≥3.26 ≥3.25
弯曲强度 MPa ≥400 ≥300 ≥300 ≥300 ≥300
压缩强度 MPa 2500 2000 2000 2000 2000
Hv 500g Gpa 10.5 9.5 9 9 9
杨氏模量 Gpa 300 300 300 280 280
热导率(@20°C) W/m·K ≥170 ≥200 ≥220 ~100 ~90
比热 KJ/(Kg·K) 0.74 0.74 0.73 0.73 0.73
C.T.E (r.t.-400°C) 10-6/K 4.6 4.6 4.6 4.6 4.6
体积电阻率 Ω·cm 20°C ≥1014 ≥1014 ≥1013 ≥1010 ≥1010
介电强度 KV/mm ≥16 ≥16 ≥15 ≥15 ≥15
介电常数(@1MHz) 8.6 8.6 8.6 8.6 8.6
损耗角正切 (@1MHz) ×10-4 5 5 5 5

 

·氮化铝 (AlN) 陶瓷基板应用

 

·微电子:适用于集成电路和电子设备。

 

·LED 封装:确保 LED 应用中有效的热量管理。

 

·电力电子:用于电源模块和高频电路。

 

·半导体制造:为半导体器件提供稳定的平台。

 

·Microwave 和 RF 组件:适用于需要高频性能的应用。

 

·氮化铝 (AlN) 陶瓷基板可用于各种金属化工艺,如薄膜、厚膜、直接粘合铜、活性金属钎焊和直接镀铜。

 

氮化铝薄膜金属化产品图片

 

内部先进加工工艺

氮化铝晶圆基板

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表面处理:
AF = 烧成状态
LBS = 双面研磨(25u” Ra)
PBS = 双面抛光(2u” Ra)
P1S = 单面抛光(2u” Ra)/第二面研磨
还提供改进的公差、表面处理和替代尺寸。

提供标准和定制基板

 

陶瓷基板

 

标准方块:25.4mm、50.8mm、101.6mm 和 114.3mm(1ʺ、2ʺ、 4ʺ、4.5ʺ)
标准圆形:φ101.6mm、φ152.4mm、φ203.2mm、φ304.8mm 和 φ356mm (4ʺ、6ʺ、8ʺ、12ʺ、14ʺ)
可用厚度:0.2~25.4mm (0.008ʺ 至 0.140ʺ)
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