セラミック製真空フィードスルーの選び方：完全選定ガイド

セラミック真空フィードスルーとは何ですか？

 
セラミック真空フィードスルーはセラミック – 金属封止部品であり、電力、信号、運動または流体を真空チャンバーの壁面を安全に貫通させるフィードスルー気密コネクタです。95% アルミナセラミックを絶縁体として使用し真空封止を実現しており、多くの真空機器における重要部品となります。

主な用途は以下の通りです：

• 半導体装置
• 真空チャンバー
• 高電圧システム
• プラズマ及びイオンビーム応用

貫通部選定ステップガイド

1. 電圧要件を定義（kV）

• 最大10kVまで → 標準用途
• 最大12kV以上 → 高電圧システム

例：

12kV 高圧真空フィードスルー CF フランジをお探しの場合は、8 ピン 12kV モデルをご検討ください

2. 電流（アンペア）を決定する

• 多ピン → 1ピンあたりの電流は低くなる
• ピン数が少ない → 電流許容量が高くなる

例：

• 30A大電流が必要な場合 → 4ピン貫通型を選択
• 複数の信号が必要な場合 → 8ピン貫通型を選択

3. ピン数（信号用 対 電源用）

4. フランジタイプ（互換性）

ほとんどのシステムではCF フランジ（CF2.75、CF35）を使用します。

ユーザーが検索する場合：
「CF2.75 真空フィードスルーコネクタ」
→ フランジが完全に適合することを確認する

5. 導体材料の選定

6. 真空レベル（HV / UHV）

• HV → 標準シール仕様
• UHV → セラミック-金属ろう付けが必要

貫通端子選定時のよくある間違い

• 定格電流を無視する（過熱リスク）
• フランジサイズの選定ミス
• 温度限界を考慮しない
• 電力用途に信号用貫通端子を使用する

推奨製品

 

高電圧・多ピン用途向け

 

8 ピン 12kV セラミック貫通端子

 

• 半導体及び超高真空システムに最適
• 12kV / 28Aに対応

大電力システム向け

 

4 ピン 10kV 30A 大電流貫通端子
 

• 給電性能を最適化
• 導体1本あたり最大30A

大電流・多ピン用途向け

 
8 ピン 30A 10kV セラミックフィードスルー

• 超高圧（UHV）システムに最適
• 導体1本あたり最大30A

 


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