高真空および超高真空システムにおいて、真空境界を越える電気接続または機能部品は、システムの安定性および寿命に影響を与える主要な要因です。伝統的な有機シールまたは機械的圧縮構造は、高温、熱サイクルおよび長期運転条件下でエイジング、ガス放出およびシール不良のリスクに直面することがあります。 この業界の課題に対応し、われわれは成熟した高温度真空ろう付けプロセスを用いて製造されたセラミック真空フィードスル…
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セラミック真空フィードスルー
セラミック真空フィードスルーとは何ですか？ セラミック真空フィードスルーはセラミック – 金属封止部品であり、電力、信号、運動または流体を真空チャンバーの壁面を安全に貫通させるフィードスルー気密コネクタです。95% アルミナセラミックを絶縁体として使用し真空封止を実現しており、多くの真空機器における重要部品となります。主な用途は以下の通りです： 半導体装置真空チャンバー高電圧システムプ…