UHV セラミック フィードスルー

セラミック真空フィードスルーとは何ですか？ セラミック真空フィードスルーはセラミック – 金属封止部品であり、電力、信号、運動または流体を真空チャンバーの壁面を安全に貫通させるフィードスルー気密コネクタです。95% アルミナセラミックを絶縁体として使用し真空封止を実現しており、多くの真空機器における重要部品となります。主な用途は以下の通りです： 半導体装置真空チャンバー高電圧システムプ…