technical ceramic solutions

高真空用途向け多ピン真空密閉電気フィードスルー

公開日: 著者:Innovacera

密閉電気フィードスルーは、密封されたチャンバー内部と外部環境との間に信頼性の高い電気接続を提供し、シグナルまたは電力伝送のための真空の保持または密閉シーリングを維持するための重要な部品です。

 

構造設計
– 多ピン導電設計
複数のシグナルまたは電力チャネルを同時に通過させる設計です。ピン数はアプリケーション要件に応じてカスタマイズ可能です。
– 金属フランジインターフェース
標準の真空フランジ構成で設計され、真空システムへのセキュアで簡単な統合が可能です。
– 密閉絶縁シール
セラミックメタルシーリング技術により、優れた電気絶縁性能および長期的な密閉性能を確保します。

 

真空密閉電気フィードスルー

 

核心性能優位性
– 優れた密閉性
高真空および超高真空アプリケーションに適しています。
– 高い電気絶縁性および絶縁破壊強度
高電圧やセンシティブなシグナル条件での信頼性の高い動作が可能です。
– 良い熱安定性および機械的強度
熱サイクルおよび過酷な動作条件に適しています。
– 高信頼性および長寿命
継続的な動作を必要とする重要なシステムに最適です。

 

用途
– 真空炉および高温度実験室機器
– 半導体
– 電子製造装置
– 分析機器
– 真空被膜処理およびプラズマ処理装置
– 科学研究システム

 

真空密閉電気フィードスルー

 

カスタマイズオプション
– カスタムピン数、ピン径および電流レート
– 異なるフランジサイズおよび標準が利用可能です
– 異なる電圧、温度および真空レベルとの互換性
– シグナル、パワー、あるいはハイブリッド構成で利用可能

 

技術仕様
項目 仕様
製品種別 真空/密閉電気フィードスルー
構造 多ピン、金属フランジ、密閉絶縁シール
シーリング方法 セラミックメタルろう付け / ガラスメタルシーリング
ピン数 2–50ピン(カスタマイズ可能)
ピン材質 コヴァー / ステンレス鋼 / ゴールドメッキ銅(オプション)
絶縁体材質 アルミナセラミック
フランジ材質 ステンレス鋼(304)
フランジタイプ CF / KF / ISO(オプション)
真空耐性 高真空 / 超高真空
表面処理 抛光 / ニッケルメッキ / ゴールドメッキ(オプション)
マウント方法 フランジボルトマウント
用途環境 真空、密閉、高温度、電気絶縁
温度範囲 -269°C~450°C、ISO KF -25°C~205°C

 

密閉電気フィードスルーは、密閉性および絶縁性能がシステム全体の安全性と安定性に影響を与えるため、密封システム内の電気伝送に不可欠な部品です。


声明:これはINNOVACERA®のオリジナル記事です。転載する際は、出典リンクを明記してください:https://www.innovacera.com/ja/news/multi-pin-vacuum-hermetic-electrical-feedthrough-for-high-vacuum-applications.html

FAQ

気密型電気フィードスルーは過酷な環境、特に高真空・超高真空(UHV)用途向けに設計されており、優れた熱安定性と機械的強度を備えています。
広範な使用温度域:標準仕様は – 269℃~450℃の温度に耐えます(備考:ISO KF フランジ仕様は – 25℃~205℃が定格範囲となります)。
核心シール・絶縁技術:先進的なセラミックス金属ろう付け(アルミナセラミック使用)またはガラス金属シール構造を採用。高電圧環境や微弱信号用途においても、長期的な気密性を維持しつつ、高い電気絶縁性と絶縁耐力を確保します。
真空装置への組み込み性:規格品の 304 ステンレス鋼製フランジ(CF、KF、ISO タイプ)を採用し、フランジボルト締結により真空チャンバーへ安定かつ隙間なく取り付け可能です。

気密電気フィードスルーは、密閉チャンバー内へ電力と信号を安全に伝送する上で重要な部品です。半導体製造、航空宇宙、科学研究、真空炉、分析機器、真空コーティング・プラズマ処理装置といった過酷な環境で使用される産業分野で幅広く活用されています。特定の用途ニーズに対応するため、柔軟性の高いカスタマイズオプションを提供しています。
ピン数・構成:多ピン導電設計を採用し、2 ピンから 50 ピンまで対応(カスタマイズ可能)。顧客は専用信号伝送用、電力伝送用、または信号・電力併用のハイブリッド構成で仕様を設定できます。
材質・表面処理オプション:定格電流や使用環境に応じ、ピン材質にはコバール、ステンレス鋼、金メッキ銅を選択可能です。表面処理には導電性と耐食性を最適化するため、研磨仕上げ、ニッケルメッキ、金メッキの各オプションが用意されています。
多次元適応性:ピン径、定格電圧・電流、フランジサイズを個別に調整した構成に対応し、多様な温度条件・真空レベル下での適合性を確保できます。

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