technical ceramic solutions

用于高真空应用的多针真空密封电馈通装置

气密电气馈通装置是关键组件,旨在提供密封腔内部与外部环境之间可靠的电气连接,并维持真空完整性或气密性,以进行信号或电力传输。

 

结构设计

– 多引脚导电设计

允许多个信号或电源通道同时通过;引脚数量可根据应用需求定制。

– 金属法兰接口

采用标准真空法兰配置设计,可安全便捷地集成到真空系统中。

– 气密绝缘密封

陶瓷-金属密封技术确保了优异的电气绝缘性和长期的气密性能。

 

真空密封电气馈通

 

主要性能优势

– 优异的密封性

适用于高真空和超高真空应用。

– 高电绝缘性和介电强度

在高电压或敏感信号条件下可靠运行。

– 良好的热稳定性和机械强度

适用于热循环和严苛的工作条件。

– 高可靠性和长使用寿命

是需要连续运行的关键系统的理想选择。

 

应用领域

– 真空炉和高温实验室设备

– 半导体

– 电子制造设备

– 分析仪器

– 真空镀膜和等离子处理设备

– 航空航天和科研系统

 

真空密封电气馈通

 

定制选项

– 可定制引脚数量、引脚直径和额定电流

– 提供多种法兰尺寸和标准

– 兼容不同的电压、温度和真空度

– 提供信号、电源或混合配置

 

技术规格
产品 规格
产​​品类型 真空/气密电气馈通
结构 多针,金属法兰,气密绝缘密封
密封方式 陶瓷-金属钎焊/玻璃-金属密封
引脚数量 2–50 针(可定制)
引脚材质 科瓦合金/不锈钢/镀金铜(可选)
绝缘体材质 氧化铝陶瓷
法兰材质 304不锈钢
法兰类型 CF/KF/ISO(可选)
真空等级 高真空/超高真空
表面处理 抛光/镀镍/镀金(可选)
安装方式 法兰螺栓安装
应用环境 真空、气密、高温、电气绝缘
温度范围 -269°C 至 450°C,ISO KF -25°C 至 205°C

 

气密式电气馈通是密封系统中电气传输的关键组件,其气密可靠性和绝缘性能对整个系统的安全性和稳定性至关重要。

FAQ

气密式电气馈通专为极端环境而设计,尤其适用于高真空和超高真空 (UHV) 应用,具有卓越的热稳定性和机械强度。

– 极端温度范围:标准配置可承受 -269°C 至 450°C 的温度范围(注:ISO KF 法兰配置的额定温度范围为 -25°C 至 205°C)。

– 核心密封和绝缘技术:采用先进的陶瓷-金属钎焊(使用氧化铝陶瓷)或玻璃-金属密封技术。即使在高压或敏感信号条件下,也能确保长期气密性,同时提供高电气绝缘性和介电强度。

– 真空系统集成:采用标准 304 不锈钢法兰(CF、KF 或 ISO 型),利用法兰螺栓安装,可牢固无缝地集成到真空腔中。

气密封电馈通对于安全地将电力和信号传输到密封腔室至关重要。它们广泛应用于半导体制造、航空航天和科学研究、真空炉、分析仪器以及真空镀膜/等离子处理设备等高要求行业。为了满足特定的应用需求,它们提供高度灵活的定制选项:

– 引脚数量和配置:采用多引脚导电设计,支持 2 至 50 个引脚(可定制)。客户可将其配置为专用信号传输、电力传输或混合(信号+电力)配置。

– 材料和表面处理选项:根据额定电流和环境,引脚可采用科瓦合金、不锈钢或镀金铜制成。表面处理包括抛光、镀镍或镀金选项,以优化导电性和耐腐蚀性。

– 多维适应性:可根据定制的引脚直径、特定的电压/电流额定值和各种法兰尺寸定制配置,以确保与不同的温度和真空度兼容。

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