新闻

硼化镧(LaB6)陶瓷零件

六硼化镧(LaB6)陶瓷是一种属于硼化物类别的无机化合物。这种耐火陶瓷材料外观呈独特的深紫色,熔点高达 2210°C,且不溶于水和盐酸。值得注意的是,在受到离子轰击时,其物理特性会发生变化,颜色由原本的深紫色转变为绿色。

LaB6 晶体独特的性质使其成为理想的稳定电子发射材料,其逸出功约为 2.70 eV。与钨相比,这种低逸出功特性使得阴极在较低温度下即可产生更高的电子电流,从而在电子束焦点处实现更高的亮度,并延长使用寿命。在实际应用中,LaB6 阴极的亮度通常是钨阴极的 10 倍,使用寿命则是后者的 50 倍。在电子显微镜应用中,这些优势转化为更精确的聚焦电子束流(可聚焦于更小的样品区域)、更高的分辨率以及更低的阴极更换频率。

LaB6 陶瓷的应用领域广泛,包括:

1. 热电子发射(阴极)
2. 扫描电子显微镜
3. 表面分析设备
4. 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的等离子体源
5. 透射电子显微镜
6. 放射治疗设备
7. 真空电子束焊接机
8. 电子束表面改性设备
9. 电子束光刻设备src=”https://files.2innova.com/innovacera-v3/2023/04/Lanthanum-Hexaboride-LaB6-Ceramics-Parts.jpg” alt=”六硼化镧 (LaB6) 陶瓷部件” width=”1000″ height=”667″ />

LaB6 陶瓷性能:

强度MPa165

性能 单位 LaB6
纯度 % >99.5
密度 g/cm3 >4.30
结构 / 单晶
维氏硬度 HV 1065
肖氏硬度 HS HS
导热系数 W/mK 15
电导率 S/m 1.83*10^6
抗弯强度

相关文章

氧化铝陶瓷绝缘基板如何提升半导体等离子体设备的可靠性

随着半导体制造工艺向更高精度和集成度发展,用于蚀刻、薄膜沉积、等离子体清洗等工序的设备对长期稳定运行的要求日益提高。 在半导体等离子体设备中安装的陶瓷绝缘部件需在真空、高温、高频RF电场及反应性等离子体环境中持续运行,必须同时满足多项指标要…

返回