光刻机

半导体芯片在现代科技中无处不在，是智能手机、智能手表、电脑、汽车、大数据、云计算、物联网等各种电子设备和系统发展中不可或缺的一部分。半导体设备由成千上万个零部件组成，零部件的性能、质量和精度直接影响设备的可靠性和稳定性，因此半导体设备中需要大量的精密陶瓷零部件。   精密陶瓷的优势 陶瓷因其硬度高、弹性模量高、耐磨性好、绝缘性好、耐腐蚀性好、膨胀性小等特点而被广泛应用，适用于硅片抛光机、热处理设备（外延/氧化/扩散）、光刻机、沉积设备、半导体刻蚀设备、离子注入机等各种…