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等离子室氮化硼陶瓷 (BN) 零件 Company
氮化硼通常被称为“白色石墨”,因为它具有与石墨相似的层状结构。它们具有出色的耐高温性能,包括高介电强度、热导率和出色的化学惰性,可以解决一些最苛刻的应用领域的挑战。 氮化硼陶瓷 (BN) 在等离子环境中具有独特的抗溅射性能,即使在强电磁场存在的情况下也不易产生二次离子。抗溅射性能有助于延长组件寿命,而低二次离子产生有助于保持等离子环境的完整性。因此,氮化硼陶瓷 (BN) 被广泛用于将溅射室中的等离子电弧限制在目标材料上,并防止工艺室中整体组件的腐蚀。 …