陶瓷元件

高温炉设计包含由碳、钨或钼制成的加热元件。当高温炉的工作温度明显高于1500°C时，元件使用氧化铝陶瓷与炉侧电绝缘。   随着技术的发展，越来越多的公司需要生产周期更短、加热和冷却速度更快的高温电炉。这些氧化物陶瓷绝缘部件容易因高压而导致组件故障，从而增加炉子的停机时间。   与传统氧化铝材料相比，由六方氮化硼（BN）制成的陶瓷组件的工作寿命要长得多。对于极高温度和真空或惰性条件下的热工艺，氮化硼陶瓷通常是唯一可行的解​​决方案。氮化硼陶瓷材料在惰性气…

氧化铝陶瓷零件用于光刻机的旋转部件，处于真空状态，对加工精度要求极高，要求内圆跳动在2微米以内。 精细陶瓷已成为半导体设备的关键零部件。特别是在高端光刻机上，为了达到较高的工艺精度，需要广泛使用功能复合性好、结构稳定性、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。 [caption id="attachment_26088" align="alignnone" width="381"] 光刻机用氧化铝陶瓷零…