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冷阴极规无法点火

冷阴极规管在长时间可靠运行后,可能会开始出现异常表现。点火时间可能比平时更长,读数可能变得不稳定,或者规管完全无法点火。造成这些问题的原因有多种。首先值得检查的事项之一,是规管内部的污染情况。这一点在真空设备上尤为重要,因为规管会暴露于工艺气体、镀膜材料、粉尘或颗粒物中。随着时间推移,沉积物会在内部零件上积聚,并干扰用于压力测量的放电过程。这并不意味着整个规管都需要更换。如果问题与阳极上的沉积物有…