半导体陶瓷

半导体设备需要大量精密陶瓷零部件。由于其具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等优点，可作为硅片抛光机、外延/氧化/扩散热处理设备、光刻机、沉积设备、半导体刻蚀设备、离子注入机等的零部件。半导体陶瓷有氧化铝、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氮化硼等，在半导体设备中，精密陶瓷的价值约占16%。 1.氧化铝（Al2O3） 氧化铝（Al2O3）是半导体设备中使用最广泛的陶瓷材料。它具有材料结构稳定、机械强度高、硬度高、熔点高、耐腐蚀、化学稳定性好、电阻率高、电绝缘性好等优点。在半导…

半导体陶瓷是指具有半导体性质的陶瓷，其电导率约为10-6~105/m。半导体陶瓷的电导率会因外界条件（温度、光、电场、气体和温度等）的变化而发生显著变化，因此可将外界环境物理量的变化转换成电信号，制成各种用途的敏感元件。 [caption id="attachment_26796" align="alignnone" width="750"] Semiconductor-99.7-Alumina-Ceramic-Wafer-Robotic-Arm[/caption] 1.热敏陶瓷：又…

特种陶瓷具有高硬度、耐磨、高断裂韧性等优点，陶瓷的特性并不止于此，很多陶瓷材料还具有极其广泛的电特性，从绝缘体到半导体、导体，甚至超导体都有可能。正因为如此，陶瓷材料在电子工业中有着广泛的应用。 在电子技术中，能够用来制备各种电子元器件的陶瓷材料被称为“电子陶瓷”。电子陶瓷还具有介电常数高、介电损耗低、温度系数小等特点，能够很好地满足电子工业小型化、集成化的条件。因此，电子陶瓷在5G时代前景十分广阔，在能源、家电、汽车等方面有着广泛的应用。 据相关机构数据显示，2019年中国电子陶瓷…