多孔陶瓷卡盘台

静电微孔陶瓷吸盘是深硅刻蚀机的关键部件，所采用的静电吸附技术是取代传统机械夹持和真空吸附方式的优势技术，在半导体、平板显示、光学等领域有着广泛的应用。静电微孔陶瓷吸盘的特点：1.可同时在大气和真空环境下使用；2.可吸附导体、半导体、绝缘体、多孔材料；3.简化夹持搬运机构，静电吸附能耗低；4.吸附力均匀，吸附时不会出现局部受力；5.对大面积薄膜支撑轻柔，吸附时不会出现划痕、褶皱；6.可快速开合，且在…