氮化硼炉内构件

氮化铝（AlN）陶瓷从原料粉末合成到高温烧结，需经历多道热处理工序。这些工序在很大程度上依赖高温真空炉或气氛炉内部的承烧工装与夹具。根据工件几何形状和热循环要求，热区内需配置不同的陶瓷结构件，包括坩埚、承烧板、支撑块及电绝缘件。 氮化硼（BN）具有优异的抗热震性、良好的电绝缘性、高升华温度以及极低的热膨胀系数（CTE）。尤为重要的是，BN不会润湿大多数熔融材料和氮化物生坯，也不易与其发生反应。然而…