随着中国半导体技术自给自足的不断推进，国内制造商正努力生产先进的陶瓷加热器。陶瓷加热器是芯片制造设备的关键部件，能够确保关键半导体制造工序的精确温度控制，是现代晶圆厂不可或缺的关键部件。     为什么陶瓷加热器在半导体制造中如此重要？   在半导体生产中，晶圆要经过薄膜沉积（CVD、PECVD、ALD）和蚀刻等工艺，这些工艺需要极其精确且均匀的加热。传统金属加热器在高温（500°C 以上）下使用受限，原因是热膨胀和颗粒污染风险。 …