碳化硅微孔陶瓷

应用：半导体晶圆加工、激光数控加工、PCB、柔性屏、精密磨床、气浮平台、气浮轴承、光学元件。1) 孔径越小，阻力越大，所需真空度越高，但获得的吸力也越大。2) 氧化铝/碳化硅微孔陶瓷的最高使用温度约为1000°C，最高使用温度也与尺寸和形状有关。不过，如果用胶水粘住，温度只能低于100°C。3) 微孔陶瓷通常不存在粗糙度问题，因为存在微孔，但表面光滑度与致密陶瓷的Ra0.8相似。4) 导热系数低。…