应用：
半导体晶圆加工、激光数控加工、PCB、柔性屏、精密磨床、气浮平台、气浮轴承、光学元件。
1) 孔径越小，阻力越大，所需真空度越高，但获得的吸力也越大。
2) 氧化铝/碳化硅微孔陶瓷的最高使用温度约为1000°C，最高使用温度也与尺寸和形状有关。不过，如果用胶水粘住，温度只能低于100°C。
3) 微孔陶瓷通常不存在粗糙度问题，因为存在微孔，但表面光滑度与致密陶瓷的Ra0.8相似。
4) 导热系数低。只有致密的材料才会有高导热系数。
5) 微孔陶瓷不能在潮湿环境中使用，也不能接触导电液体。否则，它们将无法达到绝缘效果。
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